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PVD晶圓自動倒片機(jī)FST-SC200W

應(yīng)用于LED半導(dǎo)體外延工藝段，可實現(xiàn)晶圓從原料倉至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉(zhuǎn)。主要由Foup交替上料區(qū)、Cassette立體倉儲、機(jī)器人取放盤機(jī)構(gòu)、機(jī)器人自動上下片組成。
設(shè)備參數(shù)
類別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍
288pcs/h
產(chǎn)品良率≧99.5%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以內(nèi)
設(shè)備尺寸L2.8m*W1.5m**H2.45m


設(shè)備優(yōu)勢

使用場景：外延段PVD工藝生產(chǎn)前后

全自動：自動上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、同步實現(xiàn)自動下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES

高配置：CCD自動檢測、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測以及智能化操作系統(tǒng)等

高精度：晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以內(nèi)

人性化：成熟先進(jìn)的自動控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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